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智贏智能丨SEMICON China 2024上海半導(dǎo)體展邀請函

發(fā)布日期：2024-03-06來源：東莞智贏

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產(chǎn)品展示







半導(dǎo)體晶?搬運(yùn)機(jī)器?.jpg


半導(dǎo)體晶片搬運(yùn)機(jī)器人



產(chǎn)品特點(diǎn)：


1.采用2ARM構(gòu)造增大了搬運(yùn)范圍；
2.實(shí)現(xiàn)晶圓的高速傳輸和雙片同取放；
3.確保了超高的直線精度；
4.ARM和Z軸的各種組合可以滿足對應(yīng)各種裝置的需求；
5.可同時(shí)適用于2~12英?的晶圓搬送；
SR8220系列晶圓機(jī)器人應(yīng)用于：大氣環(huán)境半導(dǎo)體晶圓高速搬運(yùn)、適?于各種半導(dǎo)體設(shè)備、 EFEM、sorter、涂膠顯影設(shè)備、清洗設(shè)備、檢測設(shè)備等。







晶圓尋邊器Aligner.jpg


晶圓尋邊器



產(chǎn)品特點(diǎn)：


1.該系列為三軸晶圓尋邊器，采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)高速，高精度，高剛性，高效率的優(yōu)勢；
2.搭載高分辨率相機(jī)，圓心擬合計(jì)算晶圓圓心，實(shí)現(xiàn)快速標(biāo)定，位置修正；
3.產(chǎn)品潔凈度等級(jí)為ISOClass1，應(yīng)用范圍包含半導(dǎo)體、光電等產(chǎn)業(yè)；
4.可在2.5s內(nèi)完成晶圓對準(zhǔn)、校準(zhǔn)、晶圓中心與角度等補(bǔ)正動(dòng)作，同時(shí)重復(fù)定位精度可達(dá)±0.025mm。






晶圓直線電機(jī)平臺(tái).jpg


晶圓檢測平臺(tái)



產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.直線電機(jī)、DD馬達(dá)結(jié)構(gòu)；
2.大理石安裝底座；
3.高速度、高響應(yīng)；
4.適用于2-12寸的晶圓檢測；
晶圓直線電機(jī)平臺(tái)半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用: 晶圓的檢測、劃線、切割、分揀、焊接、封裝鍵合等工藝。





產(chǎn)品特點(diǎn)：

晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)SMA1000.jpg


晶圓設(shè)備前端模塊



產(chǎn)品特點(diǎn)：

1.SMA1000-W8-001全自動(dòng)晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)，是針對200mm的晶圓而開發(fā)的半導(dǎo)體設(shè)備前置模塊；
2.內(nèi)部采用多軸機(jī)器人進(jìn)行傳遞晶片，提高效率；
3.使用真空吸附的方式取放晶片，確保晶片的清潔；




半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器? SR8241系列.jpg


EFEM機(jī)器人



產(chǎn)品特點(diǎn)：


1.大搬送范圍設(shè)計(jì)；
2.獨(dú)立雙驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)2片同時(shí)取放；
3.緊湊構(gòu)造、占地面積??；
4.支持真空吸附以及夾持取放片；
5.具有多功能和可回旋手臂；
6.三段ARM無需走型軸，對應(yīng)4個(gè)Loadport平行排列；
SR8241系列機(jī)器人行業(yè)應(yīng)用：大氣環(huán)境半導(dǎo)體晶圓高速搬運(yùn)，用于清洗、鍍膜、研磨、刻蝕等半導(dǎo)體設(shè)備、EFEM模塊、檢測設(shè)備等。







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